第四十九章 来到 (第1/2页)

    海上微电公司光刻机研发中心。

    巨大的DUV浸润式光刻机摆放在无尘厂房中央位置。

    机器已经经过无尘处理。

    只要将最关键的控制系统写入到DUV浸润式光刻机中，这台种花国追梦5年才研发出来大家伙，就能运行起来。

    无尘厂房周围是玻璃幕墙隔断，在隔断之外，所有参与DUV浸润式光刻机研发的专家，工程师都在。

    国家电视台更是专门安排了一个副台长带着一个专业的摄影组赶赴到现场，要将现场的情况通过直播的方式，呈报给最高层。

    工部侍郎李先进，海上省的太守王守仁都已经来到现场。

    科学院相关行业德高望重的院士，也被邀请到现场。

    对于这次DUV浸润式光刻机的实验，国家极为重视。

    DUV浸润式光刻机，对种花国来说，太重要了！

    一旦成功，对全球的芯片产业都会产生巨大影响，甚至能够影响国家战略。

    “伯灵院士，你觉得这次成功的概率有多大？”李侍郎笑着向伯灵院士问道。

    “李侍郎，现在控制系统还没有写入到光刻机中，我不敢下定论。”伯灵院士满脸严肃的回答。

    在没有实验之前，谁也不敢保证结果。

    “伯灵院士，我知道你一向以严谨著称，在没有获得结果之前从来不下论断，你将你心里面的想法告诉我，不管结果如何，我绝不会怪你。”李侍郎笑了笑，继续问道。

    伯灵院士想了想后，“李侍郎，这台DUV浸润式光刻机的其他部件，我们参考了国外先进产品，已经验证过，没有问题。”

    “最核心的三个部件，由未来科技公司提供，镜头我们已经测试过，性能极为优秀，超过国外最好的产品。”

    “其他两个部件，工作台和光源，因为控制系统还没有写入到控制芯片中，无法测试。”

    “但，部分能够测试的项目，我们已经进行了测试。”

    “性能极为优秀！”

    “按照这些情况判断，我估计，成功的可能性很大，超过半数。”最终，伯灵院士给了一个极为保守的估计。

    “伯灵院士，这個控制系统，你们能不能自行攻克？机器都生产出来了，区区一个控制系统，应该不太难吧？”李侍郎点了点头，然后继续问道。

    “李侍郎，短时间内我们自己做不出来。”

    “控制系统非常难！”

    “工件台的控制系统，控制工件台移动，移动时候允许误差是2纳米！”

    “光源的控制系统，要求让光源的光极为稳定，必须一直保持193纳米的波长，必须一直保持250瓦的输出功率。”

    “这些，我们都做不到。”

    “想要做到，需要3年！这还是有实物作为研究对象的情况下，如果没有韩阳提供的这些技术资料，至少需要5年时间，投入大量资金进行研发。”伯灵院士满脸凝重的说道。

    “我明白了！还有一件事，你们搞清楚，韩阳的DUV浸润式光刻机技术，是从什么地方来的吗？”李侍郎又问了一个问题出来。

    “李侍郎，我们不知道，韩阳的DUV浸润式光刻机和世界上其他几家的都不一样，和其他几家光刻机厂商没有任何关系。”

    “但，李侍郎，我觉得这个问题不要探究！技术的来路不重要，重要的是，我们终于有技术可用了，这比什么都重要。”伯灵院士严肃的说道。

    李侍郎不可置否的笑了笑。

    ……

    韩阳和黄总赶到海上微电公司的时候，天已经完全黑了。