第189章 令人震惊的性能 (第1/2页)

    这一消息无疑一场晴霹雳，把陈所长震得心神恍忽，随后露出不敢置信的神色。

    好吧，虽然之前燧人科技在发布会上了可以通过其蜂巢复眼镜头技术制成极紫外光源，但那只是可能。

    加上花为的牵线，长光机电所就答应了和燧人科技的合作，只是也没有指望燧人那么快能够造出来。

    可是现在才过了几个月？

    就这么把极紫外光源造出来了？

    这是开挂了吧？

    坐火箭的速度也没有这么快的！

    “这消息千真万确？”

    “比珍珠还真。”

    “......”

    挂断羚话，陈所长沉默了一下，然后就不澹定了。

    直接唤来自己的助理，“李，赶紧去给我订最近一半去凤城的机票，我要去燧人科技！切记！一定要快！”

    “好！

    我马上去订票！”

    助理被陈所长这幅如饥似渴的神态吓住了，平时所长可是澹定和蔼的，没想到今却如此着急激动。

    于是，他便赶紧去订购机票了。

    要不然所长大人非得把他吃了不可。

    ......

    另一边

    离得比较近的花为副总陪着任老爷子来到了燧人科技的重明鸟光学技术研发实验室里。

    作为燧人科技的合作伙伴与盟友，张云也第一时间收到了来自许黎的消息，并将这件事告诉了还在喝茶养生的任老，然后就马不停蹄地赶了过来。

    “许先生，euv光源真的成功了吗？可以让我们看看吗？”

    任老上来就有些急不可耐。

    “当然可以，请。”

    许黎点点头，随后便带着几人进了实验室。

    极紫外光源仿佛一个绝美的宝藏在他们眼前熠熠生辉。

    “性能怎么样？”

    任老问了一句。

    “根据我们反复实验，其最终实际ce值为45%，输出功率为220。”

    一般衡量euv光源性能主要有两个指标：转换效率处测得的功率。

    “ce值45%？！你确定？”

    一旁的张云惊疑了一声。

    他虽然是花为管理层，但也是理工出身，加上这些年时不时会学习，与时俱进，自然知道这个数值的意义。

    要知道极紫外光刻机的光电转换效率仅仅只有0.02~0.05%左右。

    因为极紫外光能够被绝大部分材料吸收，所以必须消耗电力把整个环境都抽成真空。

    另外，极紫外光也能被透镜吸收。

    因此，将极紫外光集中到一起只能靠反射了。用硅与钼制成的镀膜反射镜，可以用来集中极紫外光。但是极紫外光每被反射一次，能量就会损失三成。极紫外光从光源出发，经过十几次反射，到达晶圆的时候，只剩下不到2％的光线了。

    而要得到这样高功率的极紫外光，需要极大的激光器。但是这样的激光器在工作时会产生很大的热量，需要一套优良的散热冷却系统，才能保证机器正常工作，而这又需要消耗大量电力。

    据悉，目前amsl公司的极紫外光刻机的输出功率为250，要达到这样的输出功率，需要0.